微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐
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產(chǎn)品摘要
- 南北儀器是微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品的供應(yīng)商,提供微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐全套產(chǎn)品的價(jià)格,參數(shù),價(jià)錢(qián),報(bào)價(jià),品牌等資料,歡迎來(lái)電咨詢優(yōu)惠價(jià)錢(qián),南北儀器品質(zhì)提供
產(chǎn)品應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無(wú)內(nèi)部電極污染等性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長(zhǎng)余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. 垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子密度高；對(duì)稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻。
2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運(yùn)行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對(duì)薄膜的污染。
技術(shù)參數(shù)：
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型號(hào)/model |
WBMW-DLZ3 |
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可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加熱方式 |
純微波加熱 |
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大功率/KW |
3 (功率可調(diào)) |
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高工作溫度/℃ |
1200 |
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長(zhǎng)期工作溫度/℃ |
≤199 |
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溫度測(cè)試元件 |
微波場(chǎng)傳感器 |
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控溫精度/℃ |
±2 |
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石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長(zhǎng)度)/mm |
φ102/φ92x990 |
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真空系統(tǒng)配置（可選） |
簡(jiǎn)單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10-1Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵及真空計(jì)； 10-2Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì)； 10-3Pa真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)； |
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升溫速率(標(biāo)配) |
50℃/min 可分 段加熱 300℃/min |
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外型尺寸(長(zhǎng)x寬x高)/mm |
990´750´1830 |
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微波泄漏量/ mW/㎝ |
≤0.4 |
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提供相關(guān)配件 |
高溫手套×1、中文說(shuō)明書(shū)×1 |
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保質(zhì)期 |
整機(jī)保修1年 |
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